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OLED制造包括哪些设备
OLED坩埚、OLED制备、OLED专用PBN坩埚、OLED制造
OLED制造设备主要包括:有机蒸镀、封装、无源有机发光显示(PMOLED)有关设备,溅镀台、等离子体增强化学气相沉积(PECVD系统)、真空热蒸发(VTE系统)、AMOLED薄膜晶体管(TFT)薄膜沉积设备,涂胶机、曝光机、干湿法刻蚀机,AMOLED TFT图形制作设备,退火炉、退火气体管道、激光退火设备,TFT电学测试设备、OLED光学测试设备,AMOLED检测设备,激光修补机,AMOLED缺陷检测修补设备等。
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